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  • 04
    2025-01

    光刻機(jī)減震

    光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,精度要求極為苛刻。芯片的制造過程中,光刻機(jī)通過曝光將復(fù)雜的電路圖案轉(zhuǎn)移到晶圓上,而任何微小的振動都可能影響圖案的準(zhǔn)確 ...

  • 03
    2025-01

    光刻機(jī)運(yùn)動臺

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中的核心設(shè)備之一,用于將電路圖案從掩膜(Mask)轉(zhuǎn)移到晶圓表面。在這個過程中,運(yùn)動臺(Stage)扮演著至關(guān)重要的角色。光刻機(jī) ...

  • 03
    2025-01

    高通光刻機(jī)

    高通光刻機(jī)(Qualcomm Lithography System)并非一個廣為人知的專有術(shù)語,而可能指的是與高通公司(Qualcomm)相關(guān)的光刻技 ...

  • 03
    2025-01

    單面光刻機(jī)

    單面光刻機(jī)是光刻技術(shù)中一種常見的設(shè)備類型,它主要用于制造單面芯片或者單層圖案的曝光。1. 光刻技術(shù)簡介光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造中一種重要的圖案轉(zhuǎn)移技術(shù),通 ...

  • 02
    2025-01

    灰度光刻機(jī)

    灰度光刻機(jī)(Gray-Scale Lithography)是一種特殊的光刻技術(shù),主要用于納米尺度的圖案轉(zhuǎn)移中。與傳統(tǒng)的二值光刻技術(shù)不同,灰度光刻技術(shù)不 ...

  • 01
    2025-01

    光刻機(jī)主要功能

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備之一,其主要功能是通過投射光源將電路圖案從掩膜轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面。隨著制程工藝的不斷進(jìn)步,光刻機(jī)的作用不僅限于傳 ...

  • 31
    2024-12

    光刻機(jī)研制

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)芯片的生產(chǎn)中,是現(xiàn)代電子產(chǎn)品不可或缺的基礎(chǔ)設(shè)備之一。光刻技術(shù)通過將設(shè)計的電路圖案轉(zhuǎn)移到硅晶圓 ...

  • 31
    2024-12

    光刻機(jī) 衍射

    光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造中不可或缺的核心工藝,而衍射現(xiàn)象在光刻機(jī)的設(shè)計與制造過程中起著至關(guān)重要的作用。衍射是波動光學(xué)中的一種基本現(xiàn)象,當(dāng)光波遇到障礙物或通 ...

  • 31
    2024-12

    步進(jìn)投影式光刻機(jī)

    步進(jìn)投影式光刻機(jī)(Step-and-Repeat Lithography)是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中最常用的光刻技術(shù)之一,廣泛應(yīng)用于芯片生產(chǎn)中的電路圖案轉(zhuǎn)移過 ...

  • 30
    2024-12

    光刻機(jī)移動平臺

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備之一,它負(fù)責(zé)將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上,進(jìn)而生產(chǎn)出集成電路和其他微電子器件。光刻機(jī)的關(guān)鍵功能是通過光學(xué)投影系統(tǒng)將掩膜上的圖案 ...

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