清華大學(xué)申請光刻機(jī)光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)專利

據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請一項(xiàng)名為“一種光刻機(jī)光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開號(hào)CN117367746A，申請日期為2023年9月。 專利摘 ...