據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種光刻機(jī)光柵測(cè)量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開(kāi)號(hào)CN117367746A，申請(qǐng)日期為2023年9月。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)光柵測(cè)量標(biāo)定系統(tǒng)，涉及光柵測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架、運(yùn)動(dòng)方向相互獨(dú)立的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、平面光柵組件、光柵讀數(shù)頭組件、激光干涉儀組件、跟隨運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、真空波紋管組件和反射鏡組件，所述真空波紋管安裝在跟隨運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，并且位于對(duì)應(yīng)的激光干涉儀和反射鏡之間，所述跟隨系統(tǒng)固定在機(jī)架上，并跟隨運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)；光柵讀數(shù)頭組件和平面光柵組件分別固定在運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的X向和Y向上。光柵讀數(shù)頭與平面光柵相互配合并實(shí)時(shí)反饋被標(biāo)定件X向、Y向直線位移量以及分別繞X軸、Y軸、Z軸的旋轉(zhuǎn)角度，對(duì)比光柵讀數(shù)頭和激光干涉儀所測(cè)被標(biāo)定件(反射鏡組件和平面光柵組件)的直線位移和旋轉(zhuǎn)角度即可完成標(biāo)定。

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