光刻機(jī)的納米制程能力，是衡量其先進(jìn)水平的重要標(biāo)準(zhǔn)。

目前全球最先進(jìn)的光刻機(jī)來(lái)自荷蘭ASML公司。ASML是唯一能夠量產(chǎn)極紫外光（EUV）光刻機(jī)的公司，其最先進(jìn)設(shè)備已經(jīng)廣泛應(yīng)用于7納米、5納米、甚至3納米芯片的生產(chǎn)。在某些試驗(yàn)線中，ASML還推出了“高數(shù)值孔徑”（High-NA）的EUV光刻機(jī)，目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)2納米甚至1納米制程。這些設(shè)備極為復(fù)雜，由幾十萬(wàn)個(gè)零部件組成，價(jià)格高達(dá)1.5億歐元以上。像蘋(píng)果、臺(tái)積電、三星這些全球最頂尖的芯片廠商，都是ASML EUV設(shè)備的重要客戶。比如蘋(píng)果A17 Pro、M3芯片、驍龍8 Gen3等先進(jìn)芯片，正是通過(guò)EUV光刻完成其核心結(jié)構(gòu)。

在ASML的技術(shù)體系中，制程能力的提升不僅僅依賴更短波長(zhǎng)的光源，還借助先進(jìn)的多重曝光技術(shù)、浸沒(méi)式光刻技術(shù)、高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)等綜合提升。例如，ASML的193納米ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)，理論上只能達(dá)到45納米，但通過(guò)多重圖案疊加和精準(zhǔn)校準(zhǔn)，已被應(yīng)用到28納米、14納米，甚至部分7納米制程線中。這也說(shuō)明，光刻機(jī)的“制程節(jié)點(diǎn)”并不完全等同于光源波長(zhǎng)，而是一個(gè)系統(tǒng)綜合能力的體現(xiàn)。

與ASML相比，日本的兩大光刻機(jī)制造商——尼康（Nikon）和佳能（Canon）——?jiǎng)t更側(cè)重于傳統(tǒng)深紫外光（DUV）光刻設(shè)備。尼康的最新產(chǎn)品可以支持28納米以下制程，部分型號(hào)通過(guò)多重曝光也能勉強(qiáng)支持14納米節(jié)點(diǎn)，但并不具備EUV光刻能力。因此，尼康設(shè)備多用于圖像傳感器、DRAM芯片、汽車(chē)電子等領(lǐng)域，而非最尖端的處理器制造。佳能則主要專注于成熟工藝市場(chǎng)，光刻能力大多在90納米到130納米之間，在模擬芯片、功率器件、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。此外，佳能正在嘗試研發(fā)一種名為“納米壓印光刻”（Nanoimprint）的新技術(shù)，理論上可以達(dá)到10納米以下，但目前還未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)化。

雖然ASML主導(dǎo)EUV整機(jī)制造，但它的很多核心部件，如掩?；濉?a data-mid="89" href="http://m.b0vq.cn/a/gkjgkj.html">光刻膠材料、反射鏡、硅片等，卻來(lái)自日本企業(yè)。例如，光罩基板幾乎被日本HOYA和旭硝子壟斷，EUV光刻膠主要來(lái)自東京應(yīng)化、JSR等廠商，這說(shuō)明即便沒(méi)有整機(jī)，日本在先進(jìn)納米制程背后的供應(yīng)鏈中也占據(jù)著極為關(guān)鍵的地位。

美國(guó)雖然沒(méi)有本土光刻機(jī)制造商在前端曝光設(shè)備領(lǐng)域取得領(lǐng)先，但卻是光刻系統(tǒng)中很多核心軟件和部件的供應(yīng)者，比如EDA（電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化）工具、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)算法、離子注入設(shè)備等領(lǐng)域都由美企主導(dǎo)?？梢哉f(shuō)，雖然光刻機(jī)的最小納米能力是硬件水平的代表，但真正實(shí)現(xiàn)這些先進(jìn)節(jié)點(diǎn)，還需全球多國(guó)技術(shù)協(xié)同。

從產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)看，1納米以下的芯片制程已經(jīng)列入開(kāi)發(fā)計(jì)劃，而實(shí)現(xiàn)這些節(jié)點(diǎn)需要更新一代的光刻設(shè)備——高數(shù)值孔徑EUV（High-NA EUV）。目前ASML正在量產(chǎn)此類(lèi)設(shè)備，其數(shù)值孔徑從傳統(tǒng)的0.33提升至0.55，可支持更小光斑、更高解析度，從而實(shí)現(xiàn)1.8納米甚至1納米的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。預(yù)計(jì)這些設(shè)備將在2025年起投入試產(chǎn)線，為未來(lái)的AI芯片、超級(jí)計(jì)算芯片提供技術(shù)支持。

總的來(lái)說(shuō)，國(guó)外最先進(jìn)的光刻機(jī)目前可以支持到3納米以下制程，未來(lái)將向2納米、1納米甚至亞納米級(jí)進(jìn)軍。