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曝光方式

汞燈蠅眼曝光：

＊光源：采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈。

＊照明范圍：≤ф230mm

光的不均勻性在φ230mm范圍內≤±10%；

＊可使用的波長：g線、h線、I線的組合。根據(jù)用戶要求，可增加I線濾光片。

＊成象面照明：光照度10～15毫瓦/厘米2,任意可調(出廠時,照明度調在10mw/cm2)。?

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技術指標

1、配置壹件承片臺。（承片臺具體尺寸可根據(jù)用戶需求制造）

2、分辨率≥5μm?

3、具備真空吸片功能

4、具有真空密著和反吹氣的功能，通過調節(jié)密著真空的大小可以實現(xiàn)硬接觸曝光（密著真空≤-0.05 Mpa）、軟接觸曝光(密著真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光（密著真空≥-0.02Mpa）

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主要配置

＊多點光源曝光頭1臺、曝光類型：一次性曝光

＊曝光面積：≥φ230mm? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?＊曝光不均勻性：≤±10%

＊曝光強度：≥5mw? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?＊曝光分辨率：≤5μm

＊曝光模式：單面曝光

＊掩膜版尺寸： 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″

＊基片厚度：≤5 mm? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?＊曝光燈功率：350W

＊曝光定時：0～999.9秒可調? ? ? ? ? ? ? ＊電源：單相AC 220V 50Hz功耗≤1kW

＊潔凈壓縮空氣壓力：≥0.4Mpa? ? ? ? ? ? ? ＊真空度：-0.07Mpa～-0.09Mpa

＊尺寸：700×650×1200 (L×W×H)mm

＊重量：～110kg? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ＊輔助配件：真空泵一臺，φ8氣管15米