16A伺服勻膠機


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概述

16A伺服勻膠機主要用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過程，該設(shè)備具有勻膠效率高，使用方便等特點。其勻膠速度、時間分多個時段，并分別無級可調(diào)。

電器線路可靠，電機運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，特別是電機轉(zhuǎn)矩大，優(yōu)于同類產(chǎn)品。

吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率。

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主要技術(shù)參數(shù)

工作電源：AC200-230V，單相，200W；

裝片直徑：10/20/30....100mm，選擇兩只；

程序組：1-5段（編輯頁面），12組；

勻膠時間：3000S,分辨率0.1S；

速度范圍：100-10000RPM；

速度修正：通過A/K選擇Kx試運行可自動修正轉(zhuǎn)速，再回到Kx使用

加速度（空載）：100-5000RPM/S? 分辨率1RPM/S ；

外形尺寸：250mm(W)x420mm(D)x230mm(H)不含鍋的高度；

重量 ：勻膠機14KG，選配件真空泵5KG；

真空輸入要求：0.06-0.09MPa，真空流量最小15升/Min以上；

真空接口：自帶6mm管1米；??

需要修改程序結(jié)束后的真空釋放時間，防止最后飛片；

需要腳踏啟動，自動打開真空閥；

需要加速度調(diào)節(jié)，大小輕重物品全適應(yīng)；

需要微調(diào)轉(zhuǎn)速，使實際轉(zhuǎn)速與設(shè)定值相同，使用K1-K8，KUTO模式；

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操作步驟

接通外部真空系統(tǒng)，接通外電源，打開電源開關(guān)，用【工藝參數(shù)】鍵，選擇“A1”，若需要修改速度和時間，按一下【運行修改】鍵，結(jié)合【↑】【↓】鍵,再用【+】【-】鍵調(diào)速度和時間至工藝要求，若有實際轉(zhuǎn)速誤差，有微調(diào)的辦法。

放基片于吸盤中心處，打開紅色真空開關(guān)，檢查基片是否吸牢，（嚴(yán)禁對小于吸盤抽氣槽外圓的基片涂膠）。將適量光刻膠滴于基片中心處，按下綠色勻膠開關(guān)，。。。。。。(有異常情況，可按一下綠色的勻膠啟動按鈕，吸盤將停止)等待電機停止轉(zhuǎn)動后，關(guān)閉真空、取片。

3.? ?根據(jù)光刻膠的粘度和工作環(huán)境溫度選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)速，一般勻膠時間大約5~20秒之間。

4.? ?將勻過膠的玻璃片立放在玻璃卡盤上放入金屬盒中，根據(jù)膠的要求放入溫箱進(jìn)行前烘，一般的光刻膠前烘溫度90℃30分鐘。

5.? ?勻膠機必須關(guān)閉上蓋后啟動、勻膠機轉(zhuǎn)動時嚴(yán)禁用手觸摸。用手去抓勻膠機吸盤，能導(dǎo)致本機保護(hù)，需返廠處理，請知悉。

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注意事項

嚴(yán)禁對小于吸盤抽氣槽外圓的基片涂膠。設(shè)備用完請取下吸盤，防止膠液黏住吸盤

定期清理接膠盤中的膠液，防止液位過高，灌入電機。

根據(jù)具體工作環(huán)境，定期檢查真空管路，定期清理電磁閥，使機器保持正常狀態(tài)。

檢修時應(yīng)切斷電源?。。?/p>

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成套供應(yīng)單

勻膠機主機? ?一臺

接膠盤? ? 對應(yīng)吸盤的尺寸

配套吸盤? ?2只

真空泵? 自備或者我店鋪內(nèi)無油真空泵